诺思微系统承接国家“863计划”项目课题通过验收

发布日期：2018-08-13

2018年8月3日上午，诺思（天津）微系统有限公司承担的国家“863计划”项目课题“硅基氮化铝微纳器件与系统关键技术”结题验收会议在天津召开。

课题集合了诺思微系统、天津大学、中国科学院苏州生物医学工程技术研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、浙江大学、重庆大学等单位的优秀人才和优势力量，研制出了能源供给、多参量传感、无线传输、信息处理等多功能硅基高端微纳器件及系统，攻克了高端微纳器件及系统的可制造性设计、圆片级制造、多材料多物性兼容制造、系统微型化封装集成等前沿核心技术，完成了示范应用并形成产业化的能力。

科技部高技术中心先进制造处处长区和坚

会议由科技部高技术中心先进制造处刘振忠博士主持，经过课题组汇报，专家组现场考察及评审，课题圆满完成了全部工作任务，顺利通过验收结题。

科技部高技术中心先进制造处处长区和坚、天津市科委高新技术及产业化处副处长王祯祥出席了会议，并对课题取得的成果给予肯定，对课题今后研究工作和诺思公司以后的发展方式和方向提出了意见和建议。

国家“863项目”针对AlN MEMS射频滤波芯片的大力支持不仅填补了相关领域的空白，更能推动移动通信产业链的发展和完善，是必要的、及时的、意义重大而深远的。

图 2颗AlN MEMS射频滤波芯片与1角人民币硬币